Методы автоматического контроля топологии планарных структур изделий электронной техники

Аваков, С. М.; Дрогун, Е. А.; Русецкий, В. А.; Титко, Д. С.; Титко, Е. А.; Шоломицкий, В. Г.

Authors

Date

2013

Publisher

БНТУ

xmlui.dri2xhtml.METS-1.0.item-identifier-udc

681.3

Bibliographic entry

Методы автоматического контроля топологии планарных структур изделий электронной техники / С. М. Аваков, Е. А. Дрогун, В. А. Русецкий, Д. С. Титко, Е. А. Титко, В. Г. Шоломицкий // Наука и техника : международный научно-технический журнал. – 2013. – № 3. – С. 11–16.

Abstract

Приводится описание существующих методов автоматического контроля топологии планарных структур изделий микро- и наноэлектроники, других изделий электронной техники, дается их классификация. На основании анализа факторов, влияющих на принятие решения о выборе метода контроля топологии, определяется алгоритм выбора метода в зависимости от характеристик контролируемого объекта и условий контроля. Описанный алгоритм пред- назначен для использования при проектировании оборудования для автоматического контроля топологии планарных структур на фотошаблонах, полупроводниковых пластинах, печатных платах высокой плотности монтажа.