| dc.contributor.author | Аваков, С. М. | |
| dc.contributor.author | Дрогун, Е. А. | |
| dc.contributor.author | Русецкий, В. А. | |
| dc.contributor.author | Титко, Д. С. | |
| dc.contributor.author | Титко, Е. А. | |
| dc.contributor.author | Шоломицкий, В. Г. | |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2013-12-06T10:55:55Z | |
| dc.date.available | 2013-12-06T10:55:55Z | |
| dc.date.issued | 2013 | |
| dc.identifier.citation | Методы автоматического контроля топологии планарных структур изделий электронной техники / С. М. Аваков, Е. А. Дрогун, В. А. Русецкий, Д. С. Титко, Е. А. Титко, В. Г. Шоломицкий // Наука и техника : международный научно-технический журнал. – 2013. – № 3. – С. 11–16. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/5533 | |
| dc.description.abstract | Приводится описание существующих методов автоматического контроля топологии планарных структур изделий микро- и наноэлектроники, других изделий электронной техники, дается их классификация. На основании анализа факторов, влияющих на принятие решения о выборе метода контроля топологии, определяется алгоритм выбора метода в зависимости от характеристик контролируемого объекта и условий контроля. Описанный алгоритм пред- назначен для использования при проектировании оборудования для автоматического контроля топологии планарных структур на фотошаблонах, полупроводниковых пластинах, печатных платах высокой плотности монтажа. | ru |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Методы автоматического контроля топологии планарных структур изделий электронной техники | ru |
| dc.type | Article | ru |
| dc.identifier.udc | 681.3 | ru |
| dc.relation.journal | Наука и техника : международный научно-технический журнал. – 2013. – № 3. | ru |
