Show simple item record

dc.contributor.authorАваков, С. М.
dc.contributor.authorДрогун, Е. А.
dc.contributor.authorРусецкий, В. А.
dc.contributor.authorТитко, Д. С.
dc.contributor.authorТитко, Е. А.
dc.contributor.authorШоломицкий, В. Г.
dc.coverage.spatialМинскru
dc.date.accessioned2013-12-06T10:55:55Z
dc.date.available2013-12-06T10:55:55Z
dc.date.issued2013
dc.identifier.citationМетоды автоматического контроля топологии планарных структур изделий электронной техники / С. М. Аваков, Е. А. Дрогун, В. А. Русецкий, Д. С. Титко, Е. А. Титко, В. Г. Шоломицкий // Наука и техника : международный научно-технический журнал. – 2013. – № 3. – С. 11–16.ru
dc.identifier.urihttps://rep.bntu.by/handle/data/5533
dc.description.abstractПриводится описание существующих методов автоматического контроля топологии планарных структур изделий микро- и наноэлектроники, других изделий электронной техники, дается их классификация. На основании анализа факторов, влияющих на принятие решения о выборе метода контроля топологии, определяется алгоритм выбора метода в зависимости от характеристик контролируемого объекта и условий контроля. Описанный алгоритм пред- назначен для использования при проектировании оборудования для автоматического контроля топологии планарных структур на фотошаблонах, полупроводниковых пластинах, печатных платах высокой плотности монтажа.ru
dc.language.isoruru
dc.publisherБНТУru
dc.titleМетоды автоматического контроля топологии планарных структур изделий электронной техникиru
dc.typeArticleru
dc.identifier.udc681.3ru
dc.relation.journalНаука и техника : международный научно-технический журнал. – 2013. – № 3.ru


Files in this item

Thumbnail

This item appears in the following Collection(s)

Show simple item record