Мониторинг технологического процесса герметизации интегральных схем

Солодуха, В. А.; Турцевич, А. С.; Соловьев, Я. А.; Рубцевич, И. И.; Керенцев, А. Ф.; Довженко, А. А.; Чирко, И. В.

Authors

Date

2013

Publisher

БНТУ

xmlui.dri2xhtml.METS-1.0.item-identifier-udc

621.382

Bibliographic entry

Мониторинг технологического процесса герметизации интегральных схем / Солодуха В. А., Турцевич А. С., Соловьев Я. А., Рубцевич И. И., Керенцев А. Ф., Довженко А. А., Чирко И. В. // Приборы и методы измерений: научно-технический журнал = Devices and methods of measurements : Scientific and Engineering Journal / гл. ред. Гусев О. К. ; кол. авт. Министерство образования Республики Беларусь ; кол. авт. Белорусский национальный технический университет. – Минск : БНТУ, 2013 . - № 1(6). - С. 103 - 107.

Abstract

Высокая надежность интегральных схем специального назначения в металлокерамических корпусах на стадии производства достигается в результате минимизации содержания влаги в корпусе и постоянного измерения параметров среды герметизации. Показано, что использование приборов контроля режимов контактной сварки и приборов для комплексного измерения параметров атмосферы установки герметизации позволило осуществить постоянный мониторинг параметров технологического процесса – тока сварки, температуры, точки росы и относительной влажности инертной атмосферы. В результате мониторинга процесса шовно-роликовой сварки достигнуто увеличение выхода годных по герметичности более 99,0 % и снижение влаги в корпусах интегральных схем до 0,01–0,2 % объёмных.