Исследование влияния расстояния между кремниевыми пластинами на скорость СВЧ плазмохимического удаления фоторезистивных пленок
![Thumbnail](/bitstream/handle/data/52153/ISSLEDOVANIE_VLIYANIYA_RASSTOYANIYA_MEZHDU_KREMNIEVYMI_PLASTINAMI_NA_SKOROST_SVCH_PLAZMOHIMICHESKOGO_UDALENIYA_FOTOREZISTIVNYH_PLENOK.pdf.jpg?sequence=3&isAllowed=y)
Date
2018Publisher
Bibliographic entry
Исследование влияния расстояния между кремниевыми пластинами на скорость СВЧ плазмохимического удаления фоторезистивных пленок / Д. В. Бельский [и др.] // Приборостроение-2018 : материалы 11-й Международной научно-технической конференции, 14-16 ноября 2018 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (председатель) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2018. – С. 240-241.