Исследование влияния расстояния между кремниевыми пластинами на скорость СВЧ плазмохимического удаления фоторезистивных пленок
| dc.contributor.author | Бельский, Д. В. | |
| dc.contributor.author | Мадвейко, С. И. | |
| dc.contributor.author | Бордусов, С. В. | |
| dc.contributor.author | Тихон, О. И. | |
| dc.contributor.author | Лушакова, М. С. | |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2019-04-25T07:03:50Z | |
| dc.date.available | 2019-04-25T07:03:50Z | |
| dc.date.issued | 2018 | |
| dc.identifier.citation | Исследование влияния расстояния между кремниевыми пластинами на скорость СВЧ плазмохимического удаления фоторезистивных пленок / Д. В. Бельский [и др.] // Приборостроение-2018 : материалы 11-й Международной научно-технической конференции, 14-16 ноября 2018 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (председатель) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2018. – С. 240-241. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/52153 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Исследование влияния расстояния между кремниевыми пластинами на скорость СВЧ плазмохимического удаления фоторезистивных пленок | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
