| dc.contributor.author | Балохонов, Д. В. | |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2019-02-06T07:25:20Z | |
| dc.date.available | 2019-02-06T07:25:20Z | |
| dc.date.issued | 2018 | |
| dc.identifier.citation | Балохонов, Д. В. Технологические среды : пособие для студентов специальности 1-41 01 01 «Технология материалов и компонентов электронной техники» / Д. В. Балохонов. – Минск : БНТУ, 2018. – 72 с. | ru |
| dc.identifier.isbn | 978-985-583-049-9 | |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/49483 | |
| dc.description.abstract | Пособие содержит теоретические сведения и инструкции, необходимые для выполнения расчетно-практических работ по курсу «Технологические среды»; расчетно-практические работы, посвященные основным технологическим средам для производства интегральных микросхем и материалов для них; теоретические сведения о вакууме, способах его получения и оборудовании для этого; информацию о способах очистки воздуха при производстве полупроводниковых приборов. Предназначено для студентов специальности 1-41 01 01 «Технология материалов и компонентов электронной техники». | ru |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Технологические среды | ru |
| dc.title.alternative | Пособие для студентов специальности 1-41 01 01 «Технология материалов и компонентов электронной техники» | ru |
| dc.type | Book | ru |
| dc.type | Learning Object | ru |
| local.identifier.specnum | 5045 | ru |
