Технологические среды
Date
2018Publisher
xmlui.dri2xhtml.METS-1.0.item-identifier-isbn
978-985-583-049-9xmlui.dri2xhtml.METS-1.0.item-identifier-specnum
5045Another Title
Пособие для студентов специальности 1-41 01 01 «Технология материалов и компонентов электронной техники»
Bibliographic entry
Балохонов, Д. В. Технологические среды : пособие для студентов специальности 1-41 01 01 «Технология материалов и компонентов электронной техники» / Д. В. Балохонов. – Минск : БНТУ, 2018. – 72 с.
Abstract
Пособие содержит теоретические сведения и инструкции, необходимые для выполнения расчетно-практических работ по курсу «Технологические среды»; расчетно-практические работы, посвященные основным технологическим средам для производства интегральных микросхем и материалов для них; теоретические сведения о вакууме, способах его получения и оборудовании для этого; информацию о способах очистки воздуха при производстве полупроводниковых приборов. Предназначено для студентов специальности 1-41 01 01 «Технология материалов и компонентов электронной техники».