Browsing Т. 9, № 4 by Title
Now showing items 8-8 of 8
-
Экспрессный контроль надежности подзатворного диэлектрика полупроводниковых приборов
(БНТУ, 2018)Ключевым элементом, определяющим стабильность полупроводниковых приборов, является подзатворный диэлектрик. По мере уменьшения его толщины в процессе масштабирования растет совокупный объем факторов, определяющих его электрофизические свойства. Целью данной работы являлась разработка экспрессного метода контроля времени наработки на отказ подзатворного диэлектрика и исследование ...2019-01-02