Юхневич, А. В. К моделированию технологии изготовления кремниевых МЭМС/НЭМС-приборов / А. В. Юхневич, И. А. Майер, А. Е. Усенко // Теоретическая и прикладная механика. Выпуск 28 : международный научно-технический сборник / под ред. А. В. Чигарева ; БНТУ. – Минск, 2013. – С. 123-126.