К моделированию технологии изготовления кремниевых МЭМС/НЭМС-приборов
| dc.contributor.author | Юхневич, А. В. | ru |
| dc.contributor.author | Майер, И. А. | ru |
| dc.contributor.author | Усенко, А. Е. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2013-02-12T11:56:44Z | |
| dc.date.available | 2013-02-12T11:56:44Z | |
| dc.date.issued | 2013 | |
| dc.identifier.citation | Юхневич, А. В. К моделированию технологии изготовления кремниевых МЭМС/НЭМС-приборов / А. В. Юхневич, И. А. Майер, А. Е. Усенко // Теоретическая и прикладная механика. Выпуск 28 : международный научно-технический сборник / под ред. А. В. Чигарева ; БНТУ. – Минск, 2013. – С. 123-126. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/4144 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | К моделированию технологии изготовления кремниевых МЭМС/НЭМС-приборов | ru |
| dc.type | Article | ru |
