Разработка аппаратно-программного комплекса визуализации пространственного распределения работы выхода электрона методом вибрирующего конденсатора

Свистун, А. И.; Лукинов, К. А.; Шапарь, А. В.

Authors

Свистун, А. И.

Лукинов, К. А.

Шапарь, А. В.

xmlui.dri2xhtml.METS-1.0.item-supervisor

Тявловский, А. К.

Date

2010

Another Title

Отчет о НИР (заключительный) : № ГР 20100491

Bibliographic entry

Разработка аппаратно-программного комплекса визуализации пространственного распределения работы выхода электрона методом вибрирующего конденсатора: отчет о НИР (заключительный) : № ГР 20100491 / Белорусский национальный технический университет ; рук. А. К. Тявловский ; исполн.: А. И. Свистун [и др.]. – Минск : [б. и.], 2010.

Abstract

Объектом исследования являются аппаратные и программные средства сканирования прецизионных поверхностей и регистрации работы выхода электрона поверхности. Целью работы является разработка схемы, конструкции и программного обеспечения аппаратно-программного комплекса визуализации пространственного распределения работы выхода электрона методом вибрирующего конденсатора. Разработана схема и конструкция аппаратной части аппаратно-программного комплекса, алгоритмы основных и вспомогательных программ и собственно программное обеспечение. Проанализированы динамические характеристики и проведена экспериментальная оценка предельной разрешающей способности аппаратно-программного комплекса. Показана эффективность разработанного аппаратно-программного комплекса при контроле и диагностике полупроводниковых структур и прецизионных поверхностей, в том числе с диэлектрическими покрытиями.