dc.contributor.author | Свистун, А. И. | |
dc.contributor.author | Лукинов, К. А. | |
dc.contributor.author | Шапарь, А. В. | |
dc.coverage.spatial | Минск | ru |
dc.date.accessioned | 2012-06-13T09:16:51Z | |
dc.date.available | 2012-06-13T09:16:51Z | |
dc.date.issued | 2010 | |
dc.identifier.citation | Разработка аппаратно-программного комплекса визуализации пространственного распределения работы выхода электрона методом вибрирующего конденсатора: отчет о НИР (заключительный) : № ГР 20100491 / Белорусский национальный технический университет ; рук. А. К. Тявловский ; исполн.: А. И. Свистун [и др.]. – Минск : [б. и.], 2010. | ru |
dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/2967 | |
dc.description.abstract | Объектом исследования являются аппаратные и программные средства сканирования прецизионных поверхностей и регистрации работы выхода электрона поверхности. Целью работы является разработка схемы, конструкции и программного обеспечения аппаратно-программного комплекса визуализации пространственного распределения работы выхода электрона методом вибрирующего конденсатора. Разработана схема и конструкция аппаратной части аппаратно-программного комплекса, алгоритмы основных и вспомогательных программ и собственно программное обеспечение. Проанализированы динамические характеристики и проведена экспериментальная оценка предельной разрешающей способности аппаратно-программного комплекса. Показана эффективность разработанного аппаратно-программного комплекса при контроле и диагностике полупроводниковых структур и прецизионных поверхностей, в том числе с диэлектрическими покрытиями. | ru |
dc.language.iso | ru | ru |
dc.title | Разработка аппаратно-программного комплекса визуализации пространственного распределения работы выхода электрона методом вибрирующего конденсатора | ru |
dc.title.alternative | Отчет о НИР (заключительный) : № ГР 20100491 | ru |
dc.type | Technical Report | ru |
dc.contributor.supervisor | Тявловский, А. К. | ru |