Разработка аппаратно-программного комплекса визуализации пространственного распределения работы выхода электрона методом вибрирующего конденсатора

Abstract

Объектом исследования являются аппаратные и программные средства сканирования прецизионных поверхностей и регистрации работы выхода электрона поверхности. Целью работы является разработка схемы, конструкции и программного обеспечения аппаратно-программного комплекса визуализации пространственного распределения работы выхода электрона методом вибрирующего конденсатора. Разработана схема и конструкция аппаратной части аппаратно-программного комплекса, алгоритмы основных и вспомогательных программ и собственно программное обеспечение. Проанализированы динамические характеристики и проведена экспериментальная оценка предельной разрешающей способности аппаратно-программного комплекса. Показана эффективность разработанного аппаратно-программного комплекса при контроле и диагностике полупроводниковых структур и прецизионных поверхностей, в том числе с диэлектрическими покрытиями.