Релаксация упругих напряжений у поверхности позитивного фоторезиста при высокоэнергетичном воздействии
Date
2015Publisher
Bibliographic entry
Релаксация упругих напряжений у поверхности позитивного фоторезиста при высокоэнергетичном воздействии / Д. И. Бринкевич [и др.] // Наука – образованию, производству, экономике : материалы 13-й Международной научно-технической конференции. - Минск : БНТУ, 2015. - Т. 3. - С. 471-472.