Релаксация упругих напряжений у поверхности позитивного фоторезиста при высокоэнергетичном воздействии
| dc.contributor.author | Бринкевич, Д. И. | ru |
| dc.contributor.author | Просолович, В. С. | ru |
| dc.contributor.author | Оджаев, В. Б. | ru |
| dc.contributor.author | Янковский, Ю. Н. | ru |
| dc.contributor.author | Черный, В. В. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2016-05-04T07:47:10Z | |
| dc.date.available | 2016-05-04T07:47:10Z | |
| dc.date.issued | 2015 | |
| dc.identifier.citation | Релаксация упругих напряжений у поверхности позитивного фоторезиста при высокоэнергетичном воздействии / Д. И. Бринкевич [и др.] // Наука – образованию, производству, экономике : материалы 13-й Международной научно-технической конференции. - Минск : БНТУ, 2015. - Т. 3. - С. 471-472. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/23583 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Релаксация упругих напряжений у поверхности позитивного фоторезиста при высокоэнергетичном воздействии | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
