Browsing 2013 by Author "Кузнецова, Т. А."

Now showing items 1-2 of 2

    • Комплекс для неразрушающего контроля субмикронной топологии кремниевых пластин при производстве интегральных микросхем 

      Чижик, С. А.; Басалаев, С. П.; Пилипенко, В. А.; Худолей, А. Л.; Кузнецова, Т. А.; Чикунов, В. В.; Суслов, А. А. (БНТУ, 2013)
      Описаны преимущества использования атомно-силовой микроскопии для контроля технологических процессов при изготовлении интегральных микросхем субмикро- электроники. Показана возможность визуализации морфологии поверхностей и профиля травления, оценки периодичности гребенок шин, определения стабильности размеров для одной шины. Выполнены работы по совмещению оптической и атомно-силовой ...
      2013-11-01

    • Микрозонды для определения силы адгезии и удельной поверхностной энергии методом атомно-силовой микроскопии 

      Кузнецова, Т. А.; Чижик, Н. В.; Ширяева, Т. И. (БНТУ, 2013)
      Представлены результаты использования метода атомно-силовой микроскопии в ре- жиме силовой спектроскопии для определения значения сил адгезии между поверхностью наконечника микрозонда, выполненного из частицы титанового порошка диаметром 67 мкм, и поверхностями вакуумных покрытий из Au, Ti, Al, TiN, а также компактных полированных поверхностей из Al, Ti, нержавеющей стали.
      2013-11-06