Browsing 2013 by Author "Белогуров, Е. А."
Now showing items 1-1 of 1
-
Четырехсенсорная газовая микросистема на подложке из пористого анодного оксида алюминия: конструкция, технология, моделирование
Реутская, О. Г.; Белогуров, Е. А.; Таратын, И. А.; Хатько, В. В. (БНТУ, 2013)Разработаны конструкция и технология создания 4-сенсорной газовой микросистемы, изготавливаемой на подложках из нанопористого анодного оксида алюминия. Методом конечных элементов проведено моделирование температуры основных ее элементов и термомеханических деформаций, возникающих в конструкции при различных режимах работы микросистемы.2014-06-02