Совершенствование оборудования для контроля размеров и формы микроэлектронных структур на соответствие проектным данным и отсутствие привнесенных в него дефектов и загрязнений требует развития оптоэлектронных систем регистрации изображений структурных элементов. Синтез этих систем можно осуществлять с помощью метода, позволяющего установить обоснованность использования в ней ...

Выполнен анализ теоретических и практических аспектов применения эвристико-алгоритмических методов оценки текущих состояний объектов управления. Приведена технология построения блоков информации о возможных состояниях объекта управления, а также о его функциональных и параметрических свойствах в каждом из состояний. Показана возможность создания на основе указанного набора данных ...