Синтез оптоэлектронной системы установки контроля микроэлектронных структур
Another Title
Synthesis of optoelectronic system for control of microelectronic structures
Bibliographic entry
Трапашко, Г. А. Синтез оптоэлектронной системы установки контроля микроэлектронных структур = Synthesis of optoelectronic system for control of microelectronic structures / Г. А. Трапашко // Наука и техника = Science & Technigue : международный научно-технический журнал. – 2014. – № 1. – С. 38 - 43.
Abstract
Совершенствование оборудования для контроля размеров и формы микроэлектронных структур на соответствие проектным данным и отсутствие привнесенных в него дефектов и загрязнений требует развития оптоэлектронных систем регистрации изображений структурных элементов. Синтез этих систем можно осуществлять с помощью метода, позволяющего установить обоснованность использования в ней источника излучения и определить основные функциональные параметры оптоэлектронной системы. Приведены результаты использования метода при разработке оптоэлектронной системы, работающей с разрешением 250 нм. Показано, что в контрольном оборудовании можно применять светодиоды вместо традиционно используемых галогенных и ртутно-ксеноновых ламп.
View/
Collections
- №1[16]