Волчек, В. С. Оптимизация параметров реактивного ионного травления для формирования сквозных отверстий в кремнии / В. С. Волчек ; науч. рук. В. Р. Стемпицкий // НИРС МСФ-2015 : сборник научных трудов (по материалам студенческих научно-технических конференций машиностроительного факультета) [Электронный ресурс] / ред. А. М. Авсиевич, С. И. Адаменкова, Ю. В. Василевич ; Белорусский национальный технический университет. - Минск : БНТУ, 2015. - С. 51-53.