Оптимизация параметров реактивного ионного травления для формирования сквозных отверстий в кремнии
| dc.contributor.advisor | Стемпицкий, В. Р. | ru |
| dc.contributor.author | Волчек, В. С. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2015-10-27T06:01:52Z | |
| dc.date.available | 2015-10-27T06:01:52Z | |
| dc.date.issued | 2015 | |
| dc.identifier.citation | Волчек, В. С. Оптимизация параметров реактивного ионного травления для формирования сквозных отверстий в кремнии / В. С. Волчек ; науч. рук. В. Р. Стемпицкий // НИРС МСФ-2015 : сборник научных трудов (по материалам студенческих научно-технических конференций машиностроительного факультета) [Электронный ресурс] / ред. А. М. Авсиевич, С. И. Адаменкова, Ю. В. Василевич ; Белорусский национальный технический университет. - Минск : БНТУ, 2015. - С. 51-53. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/19019 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Оптимизация параметров реактивного ионного травления для формирования сквозных отверстий в кремнии | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
| dc.relation.book | НИРС МСФ-2015 : сборник научных трудов (по материалам студенческих научно-технических конференций машиностроительного факультета) [Электронный ресурс] | ru |
