Show simple item record

dc.contributor.advisorСтемпицкий, В. Р.ru
dc.contributor.authorВолчек, В. С.ru
dc.coverage.spatialМинскru
dc.date.accessioned2015-10-27T06:01:52Z
dc.date.available2015-10-27T06:01:52Z
dc.date.issued2015
dc.identifier.citationВолчек, В. С. Оптимизация параметров реактивного ионного травления для формирования сквозных отверстий в кремнии / В. С. Волчек ; науч. рук. В. Р. Стемпицкий // НИРС МСФ-2015 : сборник научных трудов (по материалам студенческих научно-технических конференций машиностроительного факультета) [Электронный ресурс] / ред. А. М. Авсиевич, С. И. Адаменкова, Ю. В. Василевич ; Белорусский национальный технический университет. - Минск : БНТУ, 2015. - С. 51-53.ru
dc.identifier.urihttps://rep.bntu.by/handle/data/19019
dc.language.isoruru
dc.publisherБНТУru
dc.titleОптимизация параметров реактивного ионного травления для формирования сквозных отверстий в кремнииru
dc.typeWorking Paperru
dc.relation.bookНИРС МСФ-2015 : сборник научных трудов (по материалам студенческих научно-технических конференций машиностроительного факультета) [Электронный ресурс]ru


Files in this item

Thumbnail

This item appears in the following Collection(s)

Show simple item record