Комплекс для элементного анализа приповерхностных слоев твердотельных материалов с нанометровым разрешением по глубине

Камышан, А. С.; Комаров, Ф. Ф.; Данилевич, В. В.; Гришан, П. А.

Authors

Date

2010

Publisher

БНТУ

xmlui.dri2xhtml.METS-1.0.item-identifier-udc

539.1.07, 539.216.2

Bibliographic entry

Камышан, А. С. Комплекс для элементного анализа приповерхностных слоев твердотельных материалов с нанометровым разрешением по глубине / А. С. Камышан, Ф. Ф. Комаров, В. В. Данилевич, П. А. Гришан // Приборы и методы измерений : научно-технический журнал = Devices and methods of measurements : Scientific and Engineering Journal / гл. ред. Романюк Ф.А. ; кол. авт. Министерство образования Республики Беларусь ; кол. авт. Белорусский национальный технический университет. – Минск : БНТУ, 2010. – №1. – С.17–22.

Abstract

Разработан и изготовлен измерительный комплекс, предназначенный для количественного анализа содержания и распределения по глубине примесных атомов в приповерхностных слоях кристаллов и тонких пленок методом регистрации энергетических спектров ионов, испытавших резерфордовское рассеяние на углы более π/2. В основу конструкции комплекса заложен модульно-блочный принцип. В состав модулей включены микроконтроллеры, что позволило существенно сократить элементную базу этих устройств. Проведена калибровка комплекса. Определены: энергетическое разрешение, составляющее 1,3 %, энергетическая ширина канала – 281 эВ, диапазон регистрируемых энергий от 37 до 281 кэВ, чувствительность 5×1014 ат/см2.