Расчет механических и тепловых свойств и оптимизация конструкции микромеханических мембранных структур для микромощных газовых сенсоров

Плескачевский, Ю. М.; Баркалин, В. В.; Сергейченко, А. В.; Шукевич, Я. И.; Белогуров, Е. А.

Authors

xmlui.dri2xhtml.METS-1.0.item-supervisor

Хатько, В. В.

Date

2010

Another Title

Отчет о НИР (Заключительный) : № ГР 20102529

Bibliographic entry

Расчет механических и тепловых свойств и оптимизация конструкции микромеханических мембранных структур для микромощных газовых сенсоров : отчет о НИР (заключительный) : № ГР 20102529 / Белорусский национальный технический университет ; рук. В. В. Хатько ; исполн.: Ю. М. Плескачевский [и др.]. – Минск : [б. и.], 2010.

Abstract

Объектом исследования являются высокочувствительные микромощные химические сенсоры на слоистых структурах Si3N4/Si02/Si3N4. Цель работы - расчет механических и тепловых свойств и оптимизация конструкции микромощных газовых сенсоров. Проведен расчет и оптимизирована конструкция мембранного химического сенсора с импульсным питанием и определены наиболее «опасные» с точки зрения долговременной стабильности при циклическом нагружении элементы сенсора. Результаты работы будут использоваться при модификации и оптимизации конструкций высокочувствительных химических сенсоров.