| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2012-03-14T06:07:11Z | |
| dc.date.available | 2012-03-14T06:07:11Z | |
| dc.date.issued | 2010 | |
| dc.identifier.citation | Расчет механических и тепловых свойств и оптимизация конструкции микромеханических мембранных структур для микромощных газовых сенсоров : отчет о НИР (заключительный) : 1.15/01 / Белорусский национальный технический университет; рук. Хатько В. В. – Минск, 2010. – 27 с. – Библиогр.: С. 4. - № ГР 20102529 | ru |
| dc.identifier.govdoc | 20102529 | |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/1756 | |
| dc.description.abstract | Объектом исследования являются высокочувствительные микромощные химические сенсоры на слоистых структурах Si3N4/Si02/Si3N4. Цель работы - расчет механических и тепловых свойств и оптимизация конструкции микромощных газовых сенсоров. Проведен расчет и оптимизирована конструкция мембранного химического сенсора с импульсным питанием и определены наиболее «опасные» с точки зрения долговременной стабильности при циклическом нагружении элементы сенсора. Результаты работы будут использоваться при модификации и оптимизации конструкций высокочувствительных химических сенсоров. | ru |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.subject | Химические сенсоры | ru |
| dc.subject | Конечноэлементное моделирование | ru |
| dc.subject | Структура Si3N4/SiO2/Si3N4 | ru |
| dc.title | Расчет механических и тепловых свойств и оптимизация конструкции микромеханических мембранных структур для микромощных газовых сенсоров | ru |
| dc.title.alternative | Отчет о НИР (Заключительный) : 1.15/01 | ru |
| dc.type | Technical Report | ru |
| dc.identifier.udc | 53.087.92 - 621.382 | ru |
| dc.contributor.supervisor | Хатько, В. В. | ru |
