Browsing Публикации в изданиях других стран by Author "Хатько, В. В."

Now showing items 1-2 of 2

    • Маломощный газовый сенсор на наноструктурированной диэлектрической мембране 

      Белогуров, Е. А.; Хатько, В. В.; Горох, Г. Г.; Захлебаева, А. И.; Реутская, О. Г.; Таратын, И. А. (Новые технологии, 2015)
      Представлены технология изготовления газового сенсора с наноструктурированной двухслойной диэлектрической мембраной на кремнии и характеристики изготовленного сенсора. Выбор корректной математической модели обеспечивает хорошее совпадение расчетных вольт-амперных характеристик сенсора с экспериментальными и позволяет оценить влияние пористости диэлектрической мембраны на изменение ...
      2018-06-29

    • Мультисенсорные газовые микросистемы с низким энергопотреблением на основе наноструктурированных подложек 

      Горох, Г. Г.; Захлебаева, А. И.; Хатько, В. В.; Реутская, О. Г.; Таратын, И. А. (2017)
      В статье разработана конструкция и технология изготовления мультисенсорной газовой микросистемы на подложке из нанопористого анодного оксида алюминия. Исследованы электрофизические характеристики разработанной микросистемы, получены отклики к воздействию активных газов.
      2021-07-28