Белорусский национальный технический университет
Repository of the Belarusian National Technical University
ISSN: 2310-7405
Repository of the Belarusian National Technical University
View Item 
  •   Repository BNTU
  • Внеуниверситетские публикации ученых БНТУ
  • Публикации в изданиях других стран
  • View Item
  •   Repository BNTU
  • Внеуниверситетские публикации ученых БНТУ
  • Публикации в изданиях других стран
  • View Item
JavaScript is disabled for your browser. Some features of this site may not work without it.

Мультисенсорные газовые микросистемы с низким энергопотреблением на основе наноструктурированных подложек

Thumbnail
Authors
Горох, Г. Г.
Захлебаева, А. И.
Хатько, В. В.
Реутская, О. Г.
Таратын, И. А.
Date
2017
Another Title
Multisensory gas microsystems with low energy consumption based on nanostructured substrates
Bibliographic entry
Мультисенсорные газовые микросистемы с низким энергопотреблением на основе наноструктурированных подложек = Multisensory gas microsystems with low energy consumption based on nanostructured substrates / Г. Г. Горох [и др.] // 27-я Международная Крымская конференция "СВЧ-техника и телекоммуникационные технологии" (Крымико-2017) : материалы конференции, Севастополь, 10–16 сентября 2017 г.: в 9 т. / Севастопольский государственный университет. – Севастополь, 2017. – Т. 4 : Материалы и технология СВЧ-приборов. Наноэлектроника и нанотехнология. – С. 997-1005.
Abstract
В статье разработана конструкция и технология изготовления мультисенсорной газовой микросистемы на подложке из нанопористого анодного оксида алюминия. Исследованы электрофизические характеристики разработанной микросистемы, получены отклики к воздействию активных газов.
Abstract in another language
The design and technology of multisensory gas microsystem manufacturing on substrate of nanoporous anodic alumina have been developed. The electrophysical characteristics of the developed microsystem have been studied, and responses to the action of active gases have been received.
URI
https://rep.bntu.by/handle/data/97945
View/Open
Научный доклад (234.0Kb)
Collections
  • Публикации в изданиях других стран[1154]
Show full item record
CORE Recommender

Belarusian National Technical University | Science Library | About Repository | Размещение в Репозитории | Contact Us
Яндекс.МетрикаIP Geolocation by DB-IP
Science Library | About Repository | Размещение в Репозитории | Contact Us
 

Browse

All of Repository BNTUCommunities & CollectionsAuthorsTitlesBy Issue DatePublisherBy Submit DateTypeThis CollectionAuthorsTitlesBy Issue DatePublisherBy Submit DateType

My Account

LoginRegister

Belarusian National Technical University | Science Library | About Repository | Размещение в Репозитории | Contact Us
Яндекс.МетрикаIP Geolocation by DB-IP
Science Library | About Repository | Размещение в Репозитории | Contact Us