Мультисенсорные газовые микросистемы с низким энергопотреблением на основе наноструктурированных подложек
Date
2017Another Title
Multisensory gas microsystems with low energy consumption based on nanostructured substrates
Bibliographic entry
Мультисенсорные газовые микросистемы с низким энергопотреблением на основе наноструктурированных подложек = Multisensory gas microsystems with low energy consumption based on nanostructured substrates / Г. Г. Горох [и др.] // 27-я Международная Крымская конференция "СВЧ-техника и телекоммуникационные технологии" (Крымико-2017) : материалы конференции, Севастополь, 10–16 сентября 2017 г.: в 9 т. / Севастопольский государственный университет. – Севастополь, 2017. – Т. 4 : Материалы и технология СВЧ-приборов. Наноэлектроника и нанотехнология. – С. 997-1005.
Abstract
В статье разработана конструкция и технология изготовления мультисенсорной газовой микросистемы на подложке из нанопористого анодного оксида алюминия. Исследованы электрофизические характеристики разработанной микросистемы, получены отклики к воздействию активных газов.
Abstract in another language
The design and technology of multisensory gas microsystem manufacturing on substrate of nanoporous anodic alumina have been developed. The electrophysical characteristics of the developed microsystem have been studied, and responses to the action of active gases have been received.