Browsing Публикации в изданиях других стран by Author "Реутская, О. Г."

Now showing items 1-3 of 3

    • Газовые сенсоры и сенсорные микросистемы на наноструктурированных металлооксидных пленках 

      Захлебаева, А. И.; Реутская, О. Г.; Горох, Г. Г. (2016)
      Разработана технология формирования газового сенсора и двухсенсорной газовой микросистемы на диэлектрических подложках из анодного оксида алюминия. Исследованы отклики изготовленной микросистемы к газам CO, C3H8 и NO2. Использование подложек из наноструктурированного оксида алюминия позволяет формировать газовые микросистемы на одном кристалле, сохраняя размеры одиночного сенсора, ...
      2019-10-29

    • Маломощный газовый сенсор на наноструктурированной диэлектрической мембране 

      Белогуров, Е. А.; Хатько, В. В.; Горох, Г. Г.; Захлебаева, А. И.; Реутская, О. Г.; Таратын, И. А. (Новые технологии, 2015)
      Представлены технология изготовления газового сенсора с наноструктурированной двухслойной диэлектрической мембраной на кремнии и характеристики изготовленного сенсора. Выбор корректной математической модели обеспечивает хорошее совпадение расчетных вольт-амперных характеристик сенсора с экспериментальными и позволяет оценить влияние пористости диэлектрической мембраны на изменение ...
      2018-06-29

    • Мультисенсорные газовые микросистемы с низким энергопотреблением на основе наноструктурированных подложек 

      Горох, Г. Г.; Захлебаева, А. И.; Хатько, В. В.; Реутская, О. Г.; Таратын, И. А. (2017)
      В статье разработана конструкция и технология изготовления мультисенсорной газовой микросистемы на подложке из нанопористого анодного оксида алюминия. Исследованы электрофизические характеристики разработанной микросистемы, получены отклики к воздействию активных газов.
      2021-07-28