Атомно-силовой микроскоп как средство контроля топологических размеров субмикронных интегральных схем / В. А. Пилипенко, С. А. Чижик, В. С. Сякерский [и др.] // Приборостроение-2008 : материалы 1-й Международной научно-технической конференции, 12-14 ноября 2008 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (пред.), Е. В. Гурина, Д. С. Доманевский [и др.]. – Минск : БНТУ, 2008. – С. 50-51.