Атомно-силовой микроскоп как средство контроля топологических размеров субмикронных интегральных схем
| dc.contributor.author | Пилипенко, В. А. | ru |
| dc.contributor.author | Чижик, С. А. | ru |
| dc.contributor.author | Сякерский, В. С. | ru |
| dc.contributor.author | Петлицкая, Т. В. | ru |
| dc.contributor.author | Кузнецова, Т. А. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2026-03-16T05:39:09Z | |
| dc.date.available | 2026-03-16T05:39:09Z | |
| dc.date.issued | 2008 | |
| dc.identifier.citation | Атомно-силовой микроскоп как средство контроля топологических размеров субмикронных интегральных схем / В. А. Пилипенко, С. А. Чижик, В. С. Сякерский [и др.] // Приборостроение-2008 : материалы 1-й Международной научно-технической конференции, 12-14 ноября 2008 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (пред.), Е. В. Гурина, Д. С. Доманевский [и др.]. – Минск : БНТУ, 2008. – С. 50-51. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/166516 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Атомно-силовой микроскоп как средство контроля топологических размеров субмикронных интегральных схем | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
