Электрофизические свойства тонких пленок силицидов титана при импульсной фотонной обработке

Date
2008Publisher
Bibliographic entry
Электрофизические свойства тонких пленок силицидов титана при импульсной фотонной обработке / В. В. Колос, М. И. Маркевич, В. Ф. Стельмах [и др.] // Приборостроение-2008 : материалы 1-й Международной научно-технической конференции, 12-14 ноября 2008 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (пред.), Е. В. Гурина, Д. С. Доманевский [и др.]. – Минск : БНТУ, 2008. – С. 210-211.