Электрофизические свойства тонких пленок силицидов титана при импульсной фотонной обработке
| dc.contributor.author | Колос, В. В. | ru |
| dc.contributor.author | Маркевич, М. И. | ru |
| dc.contributor.author | Стельмах, В. Ф. | ru |
| dc.contributor.author | Чапланов, А. М. | ru |
| dc.contributor.author | Емельяненко, Ю. С. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2026-03-16T05:38:34Z | |
| dc.date.available | 2026-03-16T05:38:34Z | |
| dc.date.issued | 2008 | |
| dc.identifier.citation | Электрофизические свойства тонких пленок силицидов титана при импульсной фотонной обработке / В. В. Колос, М. И. Маркевич, В. Ф. Стельмах [и др.] // Приборостроение-2008 : материалы 1-й Международной научно-технической конференции, 12-14 ноября 2008 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (пред.), Е. В. Гурина, Д. С. Доманевский [и др.]. – Минск : БНТУ, 2008. – С. 210-211. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/166436 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Электрофизические свойства тонких пленок силицидов титана при импульсной фотонной обработке | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
