Формирование нитрида титана и дисилицида титана для СБИС / М. И. Маркевич, А. М. Чапланов, Е. Н. Щербакова, В. В. Колос // Приборостроение-2009 : материалы 2-й Международной научно-технической конференции, 11-13 ноября 2009 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (пред.), Е. В. Гурина, Д. С. Доманевский [и др.]. – Минск : БНТУ, 2009. – С. 296-297.