Формирование нитрида титана и дисилицида титана для СБИС
| dc.contributor.author | Маркевич, М. И. | ru |
| dc.contributor.author | Чапланов, А. М. | ru |
| dc.contributor.author | Щербакова, Е. Н. | ru |
| dc.contributor.author | Колос, В. В. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2026-03-13T07:29:12Z | |
| dc.date.available | 2026-03-13T07:29:12Z | |
| dc.date.issued | 2009 | |
| dc.identifier.citation | Формирование нитрида титана и дисилицида титана для СБИС / М. И. Маркевич, А. М. Чапланов, Е. Н. Щербакова, В. В. Колос // Приборостроение-2009 : материалы 2-й Международной научно-технической конференции, 11-13 ноября 2009 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (пред.), Е. В. Гурина, Д. С. Доманевский [и др.]. – Минск : БНТУ, 2009. – С. 296-297. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/166051 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Формирование нитрида титана и дисилицида титана для СБИС | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
