Формирование аморфных покрытий карбида кремния
Bibliographic entry
Ковалевский, В. Н. Формирование аморфных покрытий карбида кремния / В. Н. Ковалевский, А. Е. Жук, А. В. Ковалевская // Приборостроение-2009 : материалы 2-й Международной научно-технической конференции, 11-13 ноября 2009 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (пред.), Е. В. Гурина, Д. С. Доманевский [и др.]. – Минск : БНТУ, 2009. – С. 280-281.
