Формирование аморфных покрытий карбида кремния
| dc.contributor.author | Ковалевский, В. Н. | ru |
| dc.contributor.author | Жук, А. Е. | ru |
| dc.contributor.author | Ковалевская, А. В. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2026-03-13T07:29:10Z | |
| dc.date.available | 2026-03-13T07:29:10Z | |
| dc.date.issued | 2009 | |
| dc.identifier.citation | Ковалевский, В. Н. Формирование аморфных покрытий карбида кремния / В. Н. Ковалевский, А. Е. Жук, А. В. Ковалевская // Приборостроение-2009 : материалы 2-й Международной научно-технической конференции, 11-13 ноября 2009 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (пред.), Е. В. Гурина, Д. С. Доманевский [и др.]. – Минск : БНТУ, 2009. – С. 280-281. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/166037 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Формирование аморфных покрытий карбида кремния | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
