Белорусский национальный технический университет
Repository of the Belarusian National Technical University
ISSN: 2310-7405
Repository of the Belarusian National Technical University
View Item 
  •   Repository BNTU
  • Материалы конференций и семинаров
  • Международные и республиканские конференции
  • Приборостроение
  • Приборостроение-2010
  • Материалы конференции по статьям
  • View Item
  •   Repository BNTU
  • Материалы конференций и семинаров
  • Международные и республиканские конференции
  • Приборостроение
  • Приборостроение-2010
  • Материалы конференции по статьям
  • View Item
JavaScript is disabled for your browser. Some features of this site may not work without it.

Применение метода Кельвина — Зисмана для контроля качества технологических процессов обработки полупроводниковых пластин

Thumbnail
Authors
Воробей, Р. И.
Гусев, О. К.
Жарин, А. Л.
Тявловский, А. К.
Тявловский, К. Л.
Пилипенко, В. А.
Петлицкий, А. Н.
Date
2010
Publisher
БНТУ
Bibliographic entry
Применение метода Кельвина — Зисмана для контроля качества технологических процессов обработки полупроводниковых пластин / Р. И. Воробей, О. К. Гусев, А. Л. Жарин [и др.] // Приборостроение-2010 : материалы 3-й Международной научно-технической конференции, 10–12 ноября 2010 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (пред.), Е. В. Гурина, Д. С. Доманевский [и др.]. – Минск : БНТУ, 2010. – С. 153-154.
URI
https://rep.bntu.by/handle/data/165137
View/Open
153-154.pdf (209.8Kb)
Collections
  • Материалы конференции по статьям[257]
Show full item record
CORE Recommender

Belarusian National Technical University | Science Library | About Repository | Размещение в Репозитории | Contact Us
Яндекс.МетрикаIP Geolocation by DB-IP
Science Library | About Repository | Размещение в Репозитории | Contact Us
 

Browse

All of Repository BNTUCommunities & CollectionsAuthorsTitlesBy Issue DatePublisherBy Submit DateTypeThis CollectionAuthorsTitlesBy Issue DatePublisherBy Submit DateType

My Account

LoginRegister

Belarusian National Technical University | Science Library | About Repository | Размещение в Репозитории | Contact Us
Яндекс.МетрикаIP Geolocation by DB-IP
Science Library | About Repository | Размещение в Репозитории | Contact Us