Применение метода Кельвина — Зисмана для контроля качества технологических процессов обработки полупроводниковых пластин

Authors
Date
2010Publisher
Bibliographic entry
Применение метода Кельвина — Зисмана для контроля качества технологических процессов обработки полупроводниковых пластин / Р. И. Воробей, О. К. Гусев, А. Л. Жарин [и др.] // Приборостроение-2010 : материалы 3-й Международной научно-технической конференции, 10–12 ноября 2010 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (пред.), Е. В. Гурина, Д. С. Доманевский [и др.]. – Минск : БНТУ, 2010. – С. 153-154.