Применение метода Кельвина — Зисмана для контроля качества технологических процессов обработки полупроводниковых пластин
| dc.contributor.author | Воробей, Р. И. | ru |
| dc.contributor.author | Гусев, О. К. | ru |
| dc.contributor.author | Жарин, А. Л. | ru |
| dc.contributor.author | Тявловский, А. К. | ru |
| dc.contributor.author | Тявловский, К. Л. | ru |
| dc.contributor.author | Пилипенко, В. А. | ru |
| dc.contributor.author | Петлицкий, А. Н. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2026-03-12T08:05:10Z | |
| dc.date.available | 2026-03-12T08:05:10Z | |
| dc.date.issued | 2010 | |
| dc.identifier.citation | Применение метода Кельвина — Зисмана для контроля качества технологических процессов обработки полупроводниковых пластин / Р. И. Воробей, О. К. Гусев, А. Л. Жарин [и др.] // Приборостроение-2010 : материалы 3-й Международной научно-технической конференции, 10–12 ноября 2010 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (пред.), Е. В. Гурина, Д. С. Доманевский [и др.]. – Минск : БНТУ, 2010. – С. 153-154. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/165137 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Применение метода Кельвина — Зисмана для контроля качества технологических процессов обработки полупроводниковых пластин | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
