Установка для получения пленки дисилицида титана

Authors
Date
2011Publisher
Bibliographic entry
Установка для получения пленки дисилицида титана / А. С. Турцевич, В. В. Колос, С. В. Адашкевич[и др.] // Приборостроение-2011 : материалы 4-й Международной научно-технической конференции, 16–18 ноября 2011 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (пред.), Е. В. Гурина, Д. С. Доманевский [и др.]. – Минск : БНТУ, 2011. – С. 409-411.