Установка для получения пленки дисилицида титана
| dc.contributor.author | Турцевич, А. С. | ru |
| dc.contributor.author | Колос, В. В. | ru |
| dc.contributor.author | Адашкевич, С. В. | ru |
| dc.contributor.author | Стельмах, В. Ф. | ru |
| dc.contributor.author | Маркевич, М. И. | ru |
| dc.contributor.author | Чапланов, А. М. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2026-03-12T05:44:52Z | |
| dc.date.available | 2026-03-12T05:44:52Z | |
| dc.date.issued | 2011 | |
| dc.identifier.citation | Установка для получения пленки дисилицида титана / А. С. Турцевич, В. В. Колос, С. В. Адашкевич[и др.] // Приборостроение-2011 : материалы 4-й Международной научно-технической конференции, 16–18 ноября 2011 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (пред.), Е. В. Гурина, Д. С. Доманевский [и др.]. – Минск : БНТУ, 2011. – С. 409-411. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/164728 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Установка для получения пленки дисилицида титана | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
