Формирование тонкопленочных систем на основе силицидов переходных металлов методом БТО
Bibliographic entry
Маркевич, М. И. Формирование тонкопленочных систем на основе силицидов переходных металлов методом БТО / М. И. Маркевич, А. М. Чапланов, Е. Н. Щербакова // Приборостроение-2011 : материалы 4-й Международной научно-технической конференции, 16–18 ноября 2011 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (пред.), Е. В. Гурина, Д. С. Доманевский [и др.]. – Минск : БНТУ, 2011. – С. 367-368.
