Формирование тонкопленочных систем на основе силицидов переходных металлов методом БТО
| dc.contributor.author | Маркевич, М. И. | ru |
| dc.contributor.author | Чапланов, А. М. | ru |
| dc.contributor.author | Щербакова, Е. Н. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2026-03-12T05:44:50Z | |
| dc.date.available | 2026-03-12T05:44:50Z | |
| dc.date.issued | 2011 | |
| dc.identifier.citation | Маркевич, М. И. Формирование тонкопленочных систем на основе силицидов переходных металлов методом БТО / М. И. Маркевич, А. М. Чапланов, Е. Н. Щербакова // Приборостроение-2011 : материалы 4-й Международной научно-технической конференции, 16–18 ноября 2011 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (пред.), Е. В. Гурина, Д. С. Доманевский [и др.]. – Минск : БНТУ, 2011. – С. 367-368. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/164701 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Формирование тонкопленочных систем на основе силицидов переходных металлов методом БТО | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
