Особенности измерения микропрочностных свойств полупроводниковых материалов методом микроиндентирования

Authors
Date
2012Publisher
Bibliographic entry
Особенности измерения микропрочностных свойств полупроводниковых материалов методом микроиндентирования / Н. В. Вабищевич, Д. И. Бринкевич, С. А. Вабищевич [и др.] // Приборостроение-2012 : материалы 5-й Международной научно-технической конференции, 21–23 ноября 2012 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (пред.), Е. В. Гурина, Д. С. Доманевский [и др.]. – Минск : БНТУ, 2012. – С. 140-141.