Влияние параметров ионных пучков на скорость нанесения тонкопленочных покрытий при прямом осаждении
Bibliographic entry
Телеш, Е. В. Влияние параметров ионных пучков на скорость нанесения тонкопленочных покрытий при прямом осаждении / Е. В. Телеш, А. Ю. Вашуров // Приборостроение-2012 : материалы 5-й Международной научно-технической конференции, 21–23 ноября 2012 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (пред.), Е. В. Гурина, Д. С. Доманевский [и др.]. – Минск : БНТУ, 2012. – С. 382-383.
