Влияние параметров ионных пучков на скорость нанесения тонкопленочных покрытий при прямом осаждении
| dc.contributor.author | Телеш, Е. В. | ru |
| dc.contributor.author | Вашуров, А. Ю. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2026-03-11T07:54:54Z | |
| dc.date.available | 2026-03-11T07:54:54Z | |
| dc.date.issued | 2012 | |
| dc.identifier.citation | Телеш, Е. В. Влияние параметров ионных пучков на скорость нанесения тонкопленочных покрытий при прямом осаждении / Е. В. Телеш, А. Ю. Вашуров // Приборостроение-2012 : материалы 5-й Международной научно-технической конференции, 21–23 ноября 2012 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (пред.), Е. В. Гурина, Д. С. Доманевский [и др.]. – Минск : БНТУ, 2012. – С. 382-383. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/164463 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Влияние параметров ионных пучков на скорость нанесения тонкопленочных покрытий при прямом осаждении | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
