Морфология поверхности пленок силицидов титана при изготовлении СБИС

Date
2012Publisher
Bibliographic entry
Морфология поверхности пленок силицидов титана при изготовлении СБИС / П. Жуковски, Ч. Карват, В. В. Колос [и др.] // Приборостроение-2012 : материалы 5-й Международной научно-технической конференции, 21–23 ноября 2012 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (пред.), Е. В. Гурина, Д. С. Доманевский [и др.]. – Минск : БНТУ, 2012. – С. 278-279.