Морфология поверхности пленок силицидов титана при изготовлении СБИС
| dc.contributor.author | Жуковски, П. | ru |
| dc.contributor.author | Карват, Ч. | ru |
| dc.contributor.author | Колос, В. В. | ru |
| dc.contributor.author | Маркевич, М. И. | ru |
| dc.contributor.author | Стельмах, В. Ф. | ru |
| dc.contributor.author | Чапланов, А. М. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2026-03-11T07:54:42Z | |
| dc.date.available | 2026-03-11T07:54:42Z | |
| dc.date.issued | 2012 | |
| dc.identifier.citation | Морфология поверхности пленок силицидов титана при изготовлении СБИС / П. Жуковски, Ч. Карват, В. В. Колос [и др.] // Приборостроение-2012 : материалы 5-й Международной научно-технической конференции, 21–23 ноября 2012 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (пред.), Е. В. Гурина, Д. С. Доманевский [и др.]. – Минск : БНТУ, 2012. – С. 278-279. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/164398 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Морфология поверхности пленок силицидов титана при изготовлении СБИС | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
