Механизм микрообработки тонких пленок на фотошаблонах

Круковский, В. А.; Федорцев, Р. В.; Юдицкий, В. А.; Воронцов, А. И.

Authors

Date

2025

Publisher

БНТУ

Another Title

Mechanism for processing thin films on photomasks

Bibliographic entry

Механизм микрообработки тонких пленок на фотошаблонах = Mechanism for processing thin films on photomasks / В. А. Круковский, Р. В. Федорцев, В. А. Юдицкий, А. И. Воронцов // Приборостроение-2025 : материалы 18-й Международной научно-технической конференции, 13–15 ноября 2025 года Минск, Республика Беларусь / редкол.: А. И. Свистун (пред.), О. К. Гусев, Р. И. Воробей [и др.]. – Минск : БНТУ, 2025. – С. 143-146.

Abstract

Исследован механизм обработки тонких пленок на фотошаблонах с помощью коротких лазерных импульсов.

Abstract in another language

The mechanism of processing thin films on photomasks using short laser pulses was investigated.