Механизм микрообработки тонких пленок на фотошаблонах
Loading...
Files
item.page.other-contributor
item.page.advisors
item.page.editors
Date
Publisher
item.page.issn
item.page.isbn
item.page.depon
item.page.diss
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
item.page.title-alternative
Mechanism for processing thin films on photomasks
Abstract
Исследован механизм обработки тонких пленок на фотошаблонах с помощью коротких лазерных импульсов.
item.page.description-other
The mechanism of processing thin films on photomasks using short laser pulses was investigated.
Description
Citation
Механизм микрообработки тонких пленок на фотошаблонах = Mechanism for processing thin films on photomasks / В. А. Круковский, Р. В. Федорцев, В. А. Юдицкий, А. И. Воронцов // Приборостроение-2025 : материалы 18-й Международной научно-технической конференции, 13–15 ноября 2025 года Минск, Республика Беларусь / редкол.: А. И. Свистун (пред.), О. К. Гусев, Р. И. Воробей [и др.]. – Минск : БНТУ, 2025. – С. 143-146.