| dc.contributor.author | Круковский, В. А. | ru |
| dc.contributor.author | Федорцев, Р. В. | ru |
| dc.contributor.author | Юдицкий, В. А. | ru |
| dc.contributor.author | Воронцов, А. И. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2026-01-14T07:23:29Z | |
| dc.date.available | 2026-01-14T07:23:29Z | |
| dc.date.issued | 2025 | |
| dc.identifier.citation | Механизм микрообработки тонких пленок на фотошаблонах = Mechanism for processing thin films on photomasks / В. А. Круковский, Р. В. Федорцев, В. А. Юдицкий, А. И. Воронцов // Приборостроение-2025 : материалы 18-й Международной научно-технической конференции, 13–15 ноября 2025 года Минск, Республика Беларусь / редкол.: А. И. Свистун (пред.), О. К. Гусев, Р. И. Воробей [и др.]. – Минск : БНТУ, 2025. – С. 143-146. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/162780 | |
| dc.description.abstract | Исследован механизм обработки тонких пленок на фотошаблонах с помощью коротких лазерных импульсов. | ru |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Механизм микрообработки тонких пленок на фотошаблонах | ru |
| dc.title.alternative | Mechanism for processing thin films on photomasks | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
| local.description.annotation | The mechanism of processing thin films on photomasks using short laser pulses was investigated. | ru |
