Адаптивное управление приводными системами оборудования для разделения полупроводниковых пластин на кристаллы
Loading...
Files
item.page.other-contributor
item.page.advisors
item.page.editors
Date
item.page.issn
item.page.isbn
item.page.depon
item.page.diss
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
item.page.title-alternative
Abstract
Приведены результаты исследований в области разработки методических основ создания адаптивной системы управления приводными системами прецизионного оборудования микроэлектроники на примере автомата ОАО «Планар» для разделения полупроводниковых пластин на кристаллы. Для повышения производительности и увеличения стойкости алмазного режущего
диска предложено использование при адаптивном управлении мониторинга параметров механических колебаний рабочего стола с собственными частотами и вынужденных колебаний высокоскоростного прецизионного электрошпинделя с аэростатическими опорами, возникающими при функционировании их приводов.
item.page.description-other
Description
Citation
Адаптивное управление приводными системами оборудования для разделения полупроводниковых пластин на кристаллы / В. Л. Басинюк, Р. Е. Волкотруб, М. П. Лобкова [и др.] // Инновационные технологии в машиностроении : электронный сборник материалов международной научно-технической конференции, посвященной 55-летию Полоцкого государственного университета имени Евфросинии Полоцкой, Новополоцк, 18-19 апреля 2023 г. / Полоцкий государственный университет ; отв. ред. В. К. Шелег. – Новополоцк : ПГУ, 2023. – С. 142-144.