Адаптивное управление приводными системами оборудования для разделения полупроводниковых пластин на кристаллы

Басинюк, В. Л.; Волкотруб, Р. Е.; Лобкова, М. П.; Калиниченко, А. С.; Ковенский, А. Е.

Authors

Date

2023

Publisher

Полоцкий государственный университет им. Евфросинии Полоцкой

Bibliographic entry

Адаптивное управление приводными системами оборудования для разделения полупроводниковых пластин на кристаллы / В. Л. Басинюк, Р. Е. Волкотруб, М. П. Лобкова [и др.] // Инновационные технологии в машиностроении : электронный сборник материалов международной научно-технической конференции, посвященной 55-летию Полоцкого государственного университета имени Евфросинии Полоцкой, Новополоцк, 18-19 апреля 2023 г. / Полоцкий государственный университет ; отв. ред. В. К. Шелег. – Новополоцк : ПГУ, 2023. – С. 142-144.

Abstract

Приведены результаты исследований в области разработки методических основ создания адаптивной системы управления приводными системами прецизионного оборудования микроэлектроники на примере автомата ОАО «Планар» для разделения полупроводниковых пластин на кристаллы. Для повышения производительности и увеличения стойкости алмазного режущего диска предложено использование при адаптивном управлении мониторинга параметров механических колебаний рабочего стола с собственными частотами и вынужденных колебаний высокоскоростного прецизионного электрошпинделя с аэростатическими опорами, возникающими при функционировании их приводов.