Адаптивное управление приводными системами оборудования для разделения полупроводниковых пластин на кристаллы
| dc.contributor.author | Басинюк, В. Л. | ru |
| dc.contributor.author | Волкотруб, Р. Е. | ru |
| dc.contributor.author | Лобкова, М. П. | ru |
| dc.contributor.author | Калиниченко, А. С. | ru |
| dc.contributor.author | Ковенский, А. Е. | ru |
| dc.coverage.spatial | Новополоцк | ru |
| dc.date.accessioned | 2025-12-15T11:47:03Z | |
| dc.date.available | 2025-12-15T11:47:03Z | |
| dc.date.issued | 2023 | |
| dc.description.abstract | Приведены результаты исследований в области разработки методических основ создания адаптивной системы управления приводными системами прецизионного оборудования микроэлектроники на примере автомата ОАО «Планар» для разделения полупроводниковых пластин на кристаллы. Для повышения производительности и увеличения стойкости алмазного режущего диска предложено использование при адаптивном управлении мониторинга параметров механических колебаний рабочего стола с собственными частотами и вынужденных колебаний высокоскоростного прецизионного электрошпинделя с аэростатическими опорами, возникающими при функционировании их приводов. | ru |
| dc.identifier.citation | Адаптивное управление приводными системами оборудования для разделения полупроводниковых пластин на кристаллы / В. Л. Басинюк, Р. Е. Волкотруб, М. П. Лобкова [и др.] // Инновационные технологии в машиностроении : электронный сборник материалов международной научно-технической конференции, посвященной 55-летию Полоцкого государственного университета имени Евфросинии Полоцкой, Новополоцк, 18-19 апреля 2023 г. / Полоцкий государственный университет ; отв. ред. В. К. Шелег. – Новополоцк : ПГУ, 2023. – С. 142-144. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/161390 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | Полоцкий государственный университет им. Евфросинии Полоцкой | ru |
| dc.title | Адаптивное управление приводными системами оборудования для разделения полупроводниковых пластин на кристаллы | ru |
| dc.type | Article | ru |
Files
Original bundle
1 - 1 of 1
Loading...
- Name:
- 142-144.pdf
- Size:
- 671.74 KB
- Format:
- Adobe Portable Document Format
- Description: