Особенности конструкций МЭМС-датчиков с использованием мембран
Bibliographic entry
Тимошенко, Д. В. Особенности конструкций МЭМС-датчиков с использованием мембран / Д. В. Тимошенко, О. Г. Реутская // Новые направления развития приборостроения : материалы 18-й Международной научно-технической конференции молодых ученых и студентов, 23-25 апреля 2025 года, Минск, Республика Беларусь / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: А. М. Маляревич (пред. редкол.), О. К. Гусев, А. И. Свистун [и др.]. – Минск : БНТУ, 2025. – С. 221-222.